电子制造业是一个资本密集、技术密集的高技术产业,在其生产过程中使用了各种光刻胶、显影液等溶剂,由此造成的污染物向环境排放也日益引起重视。国家环境部已下达任务着手制定《电子信息产品制造业污染物排放标准》,以进一步加强行业污染控制,规范行业环境保护管理工作。
由于电子制造业生产工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此电子制造业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。针对此类VOCs,浓缩+燃烧组合是目前为止最为有效的治理工艺。
浓缩+燃烧组合是针对大风量、低浓度的有机废气采用吸附再生的方法将其转化为小风量、高浓度,以便达到能持续维持自热燃烧的有机废气浓度,从而节约燃烧所需的能耗。
现在案例图

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